Mattson二手RTP设备AST3000于2004年开始投入使用，针对于12英寸的晶圆快速热处理设备。
特点：
适用于 300mm 和 200mm 应用的先进单晶片、单腔 RTP 系统
双面晶圆加热可在晶圆上获得出色的工艺效果
通过以下方式实现卓越的温度均匀性：
使用线性灯阵列的腔室设计
晶圆旋转
与晶圆在同一水平面上的晶圆边缘保护环
通过复杂的温度控制精确控制快速热过程的热预算
常压工艺室
真正的桥接工具能力从 200 毫米到 300 毫米
卓越的拥有成本
长寿命灯
Mattson二手RTP设备AST3000于2004年开始投入使用，针对于12英寸的晶圆快速热处理设备。
适用于 300mm 和 200mm 应用的先进单晶片、单腔 RTP 系统
双面晶圆加热可在晶圆上获得出色的工艺效果
通过以下方式实现卓越的温度均匀性：
使用线性灯阵列的腔室设计
晶圆旋转
与晶圆在同一水平面上的晶圆边缘保护环
通过复杂的温度控制精确控制快速热过程的热预算
常压工艺室
真正的桥接工具能力从 200 毫米到 300 毫米
卓越的拥有成本
长寿命灯
