13730999691
产品中心

Products Center

Mattson二手RTP设备AST3000

发布日期:2022-07-01

Mattson二手RTP设备AST3000于2004年开始投入使用,针对于12英寸的晶圆快速热处理设备。

特点:

适用于 300mm 和 200mm 应用的先进单晶片、单腔 RTP 系统

双面晶圆加热可在晶圆上获得出色的工艺效果

通过以下方式实现卓越的温度均匀性:

    使用线性灯阵列的腔室设计

    晶圆旋转

    与晶圆在同一水平面上的晶圆边缘保护环

通过复杂的温度控制精确控制快速热过程的热预算

常压工艺室

真正的桥接工具能力从 200 毫米到 300 毫米

卓越的拥有成本

长寿命灯

Mattson二手RTP设备AST3000Mattson二手RTP设备AST3000Mattson二手RTP设备AST3000

其它产品
公司地址
青岛国际博士后创新创业园6号楼7F
联系方式
售前热线:13730999691(微信同号)
免费热线:13730999691
咨询微信
产品中心服务项目 客户案例新闻资讯关于佳鼎联系我们