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EPD就是侦测上述plasma产生原理过程中激发状态后退激所发出的光（在Chamer侧壁观察孔中可以看到不同gas起辉时发出的光颜色不同 ），然后将光信号转化为电信号，这里电信号就是Chambe...
湿法刻蚀是把硅片放在强酸强碱的溶液里进行定量的刻蚀。而干法刻蚀主要是应用等离子体轰击硅片的表面，从而在硅片上刻出逻辑电路的图案。...
涂胶/显影设备是在光刻工艺中与光刻机配合作业的重要设备。在曝光前，由涂胶机进行光刻机的涂覆；而后是光刻机对光刻胶进行曝光；在曝光后由显影设备进行光刻图案的显影。在后...
无线通信主要包括微波通信和卫星通信。微波是一种无线电波，它传送的距离一般只有几十千米。但微波的频带很宽，通信容量很大。微波通信每隔几十千米要建一个微波中继站。卫星...
ESD意思是“静电放电”，ESD电路用于芯片在受到静电放电时保护芯片不受物理损伤。ESD能力在芯片端和应用端的概念是不一样的，可以理解为芯片ESD和系统ESD，这是两个完全不一样的东...
提到薄膜，顾名思义膜厚度比较小，那么多少才是薄膜？有薄膜对应的就有厚膜。一般小于10um厚度的膜称为薄膜，但绝大部分的薄膜的膜厚都是小于1um。大多都是以nm为膜厚的单位进行...
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