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我们的技术团队是国内唯一完成过ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的团队,拥有ASMLNIKON光刻机的翻新改造、安装调试及维护的核心技术能力。

针对12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化镓、蓝宝石等)、不同掩模版尺寸的要求,可实现自主设计、 加工制造、集成调整的改造能力。




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