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TOPCON拓普康芯片外观检测设备Vi4202可以全自动检查在晶片上图案化的芯片和在扩展前切割的晶片（表面朝上/背面朝上）中的微小异物和缺陷，并以芯片为单位确定合格与否。...
Surfscan系列无图案检测仪旨在实时捕获裸晶圆、光滑和粗糙薄膜和堆叠、光阻和光刻堆叠上的关键缺陷，并对其进行分类。...
SEMVision G2 的检测组装和处理使微小和浅缺陷的高质量地形图像成为可能。高动态范围检测、背散射电子收集和能量过滤可实现高纵横比成像。...
CS4800 提供高质量的 SEM 成像、改进的测量精度以及快速、自动化的操作，旨在提高现有生产线的生产力和运营效率，并提高客户的过程控制能力。...
全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安装样品。Loadlock允许样本传输时间<2min；...
日立CD-SEM二手现货扫描电镜S-9220适用于8英寸晶圆的监测，CD检测范围0.1~2.0μm，最大吞吐量45wph，放大倍数1000~300,000。...
特征尺寸测量用扫描电子显微镜CD-SEM S-8840，适用于6英寸和8英寸晶圆的线宽测试。...
日立新型超高分辨SU8600扫描电镜用于半导体样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。...
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。...
"RuliTEM"120 kV透射电子显微镜系列，包含配备高衬度透镜，实现大视野、高对比度观察的HT7800和配备同级别最高分辨率透镜的HT7830...
专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统...
球差场发射透射电子显微镜 HF5000通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。...
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