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Nikon i-line步进式光刻机NSR-SF155

发布日期:2022-06-09

NSR-SF155i线步进器适用于生产各种半导体器件。NSR-SF155采用了天钩技术,使投影镜头能够悬挂在身体和地板上,大大降低了振动水平。随着晶圆级速度的提高,NSR-SF155为300mm晶圆提供超过200个晶圆的吞吐量。

NSR-S155参数

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