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ASML二手翻新现货全自动光刻机PAS2000

发布日期：2022-06-14

PAS 2000是一种全自动晶圆步进机，旨在以快速吞吐量和维持正常运行时间为每个晶圆生产尽可能多的芯片，这些因素对于高效生产集成电路至关重要。在1.0和1.3微米之间的CD 上提供高曝光速度和快速吞吐量，以及 0.25 微米的覆盖精度。

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