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ASML i-line步进式光刻机PAS 5500/100D二手翻新修改现货

发布日期:2022-06-15

PAS5500/100Di线步进设计用于0.4µm的大规模生产,在其可变数值孔径(NA)保持最大功能性的同时实现极高的吞吐量。该步进器通过优化关键工艺层的聚焦深度和分辨率,扩展了i-line制造多代亚半微米设计规则的能力。

ASML i-line步进式光刻机PAS5500/100D二手翻新修改现货参数

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