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ASML二手i-line光刻机PAS 5500/400D现货供应

发布日期:2022-06-15

4x 投影镜头,与 ASML 的 AERIAL 照明器相结合,可提供 280 nm 分辨率。步进扫描载物台技术可实现 AERIAL 照明强度和先进的 i 线抗蚀剂,吞吐量为 124 200-mm wph。步进扫描系统的分辨率和生产力确保先进 i-line 光刻的最低运营成本。35 纳米的掩模覆盖层,产生 10 倍的表面能量密度。

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