4x 投影镜头，与 ASML 的 AERIAL 照明器相结合，可提供 280 nm 分辨率。步进扫描载物台技术可实现 AERIAL 照明强度和先进的 i 线抗蚀剂，吞吐量为 124 200-mm wph。步进扫描系统的分辨率和生产力确保先进 i-line 光刻的最低运营成本。35 纳米的掩模覆盖层，产生 10 倍的表面能量密度。
4x 投影镜头，与 ASML 的 AERIAL 照明器相结合，可提供 280 nm 分辨率。步进扫描载物台技术可实现 AERIAL 照明强度和先进的 i 线抗蚀剂，吞吐量为 124 200-mm wph。步进扫描系统的分辨率和生产力确保先进 i-line 光刻的最低运营成本。35 纳米的掩模覆盖层，产生 10 倍的表面能量密度。
