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Nikon尼康二手i-line光刻机NSR 2205 i12D

发布日期:2022-06-28

尼康的这款i-line光刻机NSR 2205i12D是最受欢迎的光刻系统之一。分辨率≦350 nm,曝光光源i-line(365nm波长),缩小比1:5,曝光场22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 对准精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm。NIKON NSR 2205i12D是步进器和扫描仪系统。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圆尺寸。

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