尼康的这款i-line光刻机NSR 2205i12D是最受欢迎的光刻系统之一。分辨率≦350 nm，曝光光源i-line（365nm波长），缩小比1:5，曝光场22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 对准精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm。NIKON NSR 2205i12D是步进器和扫描仪系统。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圆尺寸。
尼康的这款i-line光刻机NSR 2205i12D是最受欢迎的光刻系统之一。分辨率≦350 nm，曝光光源i-line（365nm波长），缩小比1:5，曝光场22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 对准精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm。NIKON NSR 2205i12D是步进器和扫描仪系统。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圆尺寸。
