PD-3800L是一种能够沉积硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)的锁载等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统。
该系统由于采用了大型反应室,并通过载盘装载多片晶圆进行批量处理,因此产量较高。在直径360mm的区域内可以沉积出具有优异的厚度均匀性和应力控制的薄膜,具有优异的稳定性和可重复性。用户友好的触摸屏界面用于参数控制和配方存储。该系统是大规模生产用薄膜沉积的理想选择,具有优异的重复性。
主要特点和优势
最大加工范围:ø360 mm (ø3" x 9, ø4" x 6, ø6" x 3)
优异的均匀性和应力控制
卓越的工艺稳定性和可重复性
坚固的系统,最低的运行/维护成本
用户友好的触摸屏界面,用于参数控制和配方存储。
应用
SiH4-SiNx
SiH4-SiO2
液体前驱体(SN-2)SiNx。
TEOS-SiO2