13730999691
产品中心

Products Center

SAMCO二手翻新刻蚀系统刻蚀机RIE-10NR

发布日期:2022-05-11

SAMCO二手翻新刻蚀系统刻蚀机RIE-10NR

产品优势:

高度紧凑型设计,节约空间;

均匀度-小于±5%超过8英寸;

30年的RIE蚀刻器生产工艺经验;

具备大型晶圆处理能力,能够处理8英寸晶圆;

易于操作-电脑化的触摸屏显示器;

ASMCO二手翻新刻蚀系统RIE-10NR

设备硬件配置

1. 最大可加工尺寸,8 wafer
2. 真空系统
EBARA 罗茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 气体
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
气体可根据客户需求更改
5. VAT 蝶阀
6. MKS 薄膜电容真空计

7. 配备冷水机

ASMCO二手翻新蚀刻系统ORE-10NR参数表

翻新内容

1. 真空泵翻新;
2. MFC 校准翻新;
3. 腔室 parts 翻新;
4. 真空管路波纹管及密封件更换;

其它产品
公司地址
青岛市高新区联东U谷青岛高新国际企业港3期C20栋
联系方式
售前热线:13730999691(微信同号)
免费热线:13730999691
咨询微信
产品中心服务项目 客户案例新闻资讯关于佳鼎联系我们