爱发科ICP刻蚀设备刻蚀系统NE-550EXz现货，电极的刻蚀效果好，能够进行正确稳定的刻蚀重点效果检测，具有维护便利、性能稳定、产能优良等特点。
设备优势
工艺重复性、稳定性业界独有
解决了等离子体源天板IPC的问题，搭载Star电极及多个ULVAC专利
可以正确且稳定的检测刻蚀终点
可以选择搭载光谱或光干涉型终点检测机构
操作便利维护简单
减小维护负荷的机构及搭载相关加热器延长维护周期的同时，工作量减少
搭载多个加热机构
腔体加热、Shield加热、Stage控温可有效控制工艺的稳定性及延长维护周期
更高的等离子体密度保证更好的刻蚀效果
搭载ULVAC专利ISM电极，等离子体密度高出常规ICP一个数量级
刻蚀系统NE-550EXz参数表
