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LAM RESEARCH等离子刻蚀系统RAINBOW 4420

发布日期:2022-07-06

LRC Rainbow Etcher 是全自动在线单晶圆等离子/RIE 蚀刻系统,可处理 6 英寸或 8 英寸晶圆,具有顶部或/和底部供电电极板、可编程电极间距和自动非接触式晶圆对齐和放置。独特的射频匹配网络位于上电极和下电极,用于在等离子体和 RIE 模式之间进行可编程切换。LRC Rainbow 蚀刻机专为连续操作而设计,由计算机控制,允许手动或自动控制。Lam Rainbow 44XX 系列可用于硅化钨、氮化硅、多晶硅、氧化物、结晶硅等。

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