13730999691
产品中心

Products Center

SAMCO二手等离子刻蚀机RIE-300NR

发布日期:2022-07-06

SAMCO等离子刻蚀机RIE-300NR是一种理想的反应离子蚀刻系统,适用于加工ø300mm晶圆和多晶圆(ø3"×12,ø4"×8等),具有优异的均匀性。该系统的设计旨在最大限度地减少工厂空间需求,提高产量,最大限度地延长正常运行时间,并通过可靠的硬件和便捷的服务降低拥有成本。

主要特点和优点

最大加工范围:ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)

用户友好的触摸屏界面

全自动 "一键式 "操作,可完全手动操作。

优化的喷淋头可提供工艺气体的均匀性。

减少停留时间的近距离耦合气体输送箱。

对称的疏散设计与TMP相结合,形成了有效的流动。

自动压力控制,可精确控制工艺压力,不受气体流量影响。

干式泵和系统布局便于维护。

应用

去除夹层膜,用于ø300mm的失效分析。

蚀刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。

树脂的蚀刻和脱胶

光阻剂的灰化、剥离和除尘。

表面改性(润湿性和粘附性的改善

SAMCO二手等离子刻蚀机RIE-300NRSAMCO二手等离子刻蚀机RIE-300NRSAMCO二手等离子刻蚀机RIE-300NRSAMCO二手等离子刻蚀机RIE-300NR

其它产品
公司地址
青岛国际博士后创新创业园6号楼7F
联系方式
售前热线:13730999691(微信同号)
免费热线:13730999691
咨询微信
产品中心服务项目 客户案例新闻资讯关于佳鼎联系我们