13730999691
产品中心

Products Center

SAMCO二手翻新ICP刻蚀机RIE-400iPC

发布日期:2022-07-11

SAMCO二手翻新ICP刻蚀机RIE-400iPC,是高密度等离子体蚀刻系统,采用电感耦合等离子体作为放电形式。该系统配备了真空盒室,是一个具有优良工艺重复性和稳定性的全规模生产系统。该系统是直径4英寸等小直径晶圆的专用系统,可以在最小的洁净室空间内安装。

主要特点和优点

新的ICP源 "HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil"

可高效稳定地应用高射频功率(2千瓦以上),并实现良好的均匀性。

大流量排气系统

排气系统直接连接到反应室,可以实现从小流量和低压范围到大流量和高压范围的广泛工艺窗口。

端点监测

干涉法和发射光谱终点监测仪可用于目标薄膜厚度的终点检测。

易于维护的设计

TMP(涡轮分子泵)已集成在一个单元中,便于更换。

应用

GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度加工

SiC、SiO₂的高速加工

蚀刻铁电材料(PZT、BST、SBT、SBT)、电极材料(Pt、Au、Ru、Al)和其他难以蚀刻的材料

SAMCO二手翻新ICP刻蚀机RIE-400iPCSAMCO二手翻新ICP刻蚀机RIE-400iPCSAMCO二手翻新ICP刻蚀机RIE-400iPC

其它产品
公司地址
青岛国际博士后创新创业园6号楼7F
联系方式
售前热线:13730999691(微信同号)
免费热线:13730999691
咨询微信
产品中心服务项目 客户案例新闻资讯关于佳鼎联系我们