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二手TEL/TOKYO ELECTRON 308 SCCM刻蚀机现货

发布日期:2022-07-18

二手TEL等离子刻蚀机308 SCCM,可对12英寸晶圆进行蚀刻处理。

设备简介:

5 个装载端口,300mm FOUP 装载锁定模块 4 个深沟槽硅蚀刻机 (SCCM) 超级电容耦合模块腔室 40MHz 和 3.2MHz 双频源(GEW3040 和 NOVA50A) ESD 卡盘 工艺:80 微米深 90 纳米宽,硅蚀刻,温度控制。

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