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GASONICS/NOVELLUS刻蚀机AURA 2000

发布日期：2022-07-29

GASONICS/NOVELLUS刻蚀机AURA 2000，采用N2H2和O2作为工艺气体，可对尺寸为8英寸的晶圆进行蚀刻工艺加工处理。

GASONICS/NOVELLUS刻蚀机AURA 2000

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