PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蚀机，2007年设备，可对6-8英寸的晶圆进行蚀刻工艺加工处理
制造商:PVA TEPLA / TECHNICS
型号:300 AUTOLOAD PC
类别:ETCHERS / ASHERS
年份:2007
晶圓尺寸:6"-8"
设备详细信息:
微波等离子批处理系统，6"-8"
当前配置用于 6"
PC 控制器
批量大小：(25) 每个负载的晶圆
陶瓷腔室（φ x 深度）：9.6" x 15"
微波频率：2.45 GHz
最大功率：1000 W
( 4) 气体通道
MFC 校准 N2
1000 SCCM
MKS Baratron 电容压力计
