EX14设备改造部分 8 inch -> 4inch, SIC
EX14设备改造部分，进行了晶圆定心（Wafer Center），机械臂（Robot Arm），平边/Notch定位（of），Load/Unload arm等部位的改造，目前已完成该项目的改造工作。
EX14设备改造部分 8 inch -> 4inch, SIC
EX14设备改造部分，进行了晶圆定心（Wafer Center），机械臂（Robot Arm），平边/Notch定位（of），Load/Unload arm等部位的改造，目前已完成该项目的改造工作。
