EX14设备改造部分 8 inch -> 4inch, SIC
EX14设备改造部分,进行了晶圆定心(Wafer Center),机械臂(Robot Arm),平边/Notch定位(of),Load/Unload arm等部位的改造,目前已完成该项目的改造工作。
EX14设备改造部分 8 inch -> 4inch, SIC
EX14设备改造部分,进行了晶圆定心(Wafer Center),机械臂(Robot Arm),平边/Notch定位(of),Load/Unload arm等部位的改造,目前已完成该项目的改造工作。