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EX14设备改造部分 8 inch -> 4inch, SIC

发布日期:2022-05-07

EX14设备改造部分 8 inch -> 4inch, SIC

EX14设备改造部分,进行了晶圆定心(Wafer Center),机械臂(Robot Arm),平边/Notch定位(of),Load/Unload arm等部位的改造,目前已完成该项目的改造工作。

EX14设备改造

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