芯东西 2024年 1 月 2 日消息，今早，全球光刻机龙头 ASML 在官网发布声明称，荷兰政府最近吊销了该公司 2023 年发货 TWINSCAN NXT:2050i 和 NXT:2100i 光刻机的部分许可证，这会对其少数中国客户产生影响。
▲ ASML 官方声明
2023 年 3 月，荷兰政府的出口限制新规要求 ASML 需要申请出口许可证才能装运 DUV 光刻机，主要涉及能生产先进制程芯片的高端 DUV 光刻机型号的采购，暂不影响 2000i 之前的型号。不过，ASML 当时已经提前获得出口许可证，允许其在 2023 年向外出售 NXT:2000i 以及更先进的 NXT:2050i、NXT:2100i 等 DUV 光刻机，因此并未产生较大影响。
ASML 也在声明中透露，最近该公司与美国政府就其出口管制法规的范围和影响进行了讨论。在 ASML 发布官方声明前夕，外媒援引知情人士称，美国政府官员就要求 ASML 立即停止预先安排的部分机器向中国客户发货。
一、更先进 DUV 光刻机被禁，不会影响 2023 年业绩
DUV 光刻机被用于生产 28nm 及更成熟制程的芯片，理论上最高能制备 7nm，主要供应商有荷兰 ASML、日本尼康、日本佳能等。2023 年 3 月，荷兰政府宣布对半导体技术出口实施新的限制，要求 ASML 需要申请出口许可证才能装运 DUV 光刻机。从 ASML 的解读来看，该新规主要涉及能生产先进制程芯片的高端 DUV 光刻机型号的采购，暂不影响 2000i 之前的型号。该禁令于 9 月 1 日起执行。
▲ ASML DUV 光刻机型号一览（图源：ASML）
当时这一禁令并未对 ASML 产生太大影响。该公司此前已经申请了出口许可证，这一许可证允许其在 2023 年内向外出售 NXT:2000i 以及更先进的 NXT:2050i、NXT:2100i 等 DUV 光刻机。2024 年刚开年，这一许可证被TWINSCAN NXT:2050i 是一款高生产率、双级浸没式光刻工具，专为在先进节点批量生产 300mm 晶圆而设计。
▲ NXT:2050i
另一个 NXT:2100i 是双级浸没式光刻系统，其配备了新的投影光学调整系统，可改善覆盖效果
▲ NXT:2100i ASML
预计目前被撤销的出口许可证以及美国最新发布的出口管制措施不会对其 2023 年业绩产生重大影响。
二、美国政府多次施压，禁止 DUV 光刻机出口
ASML 在声明中透露，最近该公司与美国政府就美国出口管制法规的范围和影响进行了讨论。这可能与 2023 年 10 月美国宣布的新规有关。美国政府称，如果 ASML 的 "Twinscan NXT1930Di" 设备中含有任何美国零部件，美国政府有权限制其出口。这一 DUV 光刻机可以用来制造相对先进的计算机芯片，也可以制造中档和老款芯片。知情人士称，去年年底，美国国家安全顾问 Jake Sullivan 就已经致电荷兰政府，但荷兰政府要求美国政府直接与 ASML 联系，以讨论浸入式深紫外光刻机的发货事宜。据外媒报道，在 ASML 的出口许可证到期前数周，美国政府就要求 ASML 取消一部分向中国出口的机器，但并不清楚其具体的数量，这些设备每台的成本可能高达数千万美元。美国白宫国家安全委员会和荷兰外交部发言人拒绝置评。
结语：逆全球化布局，供应链稳定受影响
ASML 在全球芯片供应链中占据着至关重要的地位，是唯一一家能够制造高度精密的极紫外（EUV）光刻机的公司，而这也正是生产先进芯片的关键设备。这些出口禁令的发布与生效，将会对全球半导体产业产生影响。
ASML 即将离任的首席执行官 Peter Wennink 在 2023 年 10 月份就告诉投资者，这些新的限制措施将影响该公司在中国多达 15% 的销售额。
美国政府在加码出口禁令的同时，还不断向其它国家施压禁止出口相关设备。美国政府逆全球化布局，试图打压中国的半导体专业发展，对于维护国际产业链、供应链稳定等都会产生不利影响。
尽管 ASML 的暂停交货，美国、荷兰政府的半导体技术出口禁令会对我国半导体产业的快速推进造成一定程度的打击，但这反过来又为国内企业加速自给自足、技术创新提供了动力。
来源：ASML 官网 编译 | 程茜 编辑 | Panken 芯东西（公众号：aichip001）
