关键应用：
栅极预清洗
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蚀
氮化硅腐蚀
CoSix选择性腐蚀
产品优势：
1、占地面积小，将外部unit 集成在设备内部来减小整体的占地面积；
2、高产能，优化的Marangoni Dryer；
3、重新设计槽体流场，较好的清洗效果和均一性;
4、有机清洗，控片回收；
5、机台将back conveyor集成在机台的后上方，节省了空间 ；
6、机台采用PLC和PC的结合控制方式， 系统可靠高；
7、优化机台内部流场设计，带来更好的articleperformance
8、破片侦测系统，防止二次伤害；
