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SUSS半自动湿法处理设备AD12

发布日期:2022-07-01

SUSS半自动湿法处理设备AD12

SUSS MicroTec的半自动湿处理系统AD12为水介质应用提供了卓越的清洁和开发功能。单晶片处理平台可用于工件,晶片尺寸高达300mm,方形基板高达230mmx230mm,用于晶片的带框高达300mm。它处理各种媒体和过程的能力提供了在应用程序之间切换所需的灵活性,使该工具成为研究环境和小规模生产的首选。

卓越的灵活性

SUSS半自动湿法处理设备AD12通过使用优化的卡盘处理多种不同类型的基板,展示了其多功能性。即使是易碎的衬底(例如InP、GaAs)也可以安全地处理。特殊工具和广泛的易于调节的过程参数表使SUSS半自动湿法处理设备AD12适用于涉及水介质的许多过程应用。该系统能够编程参数,如步长时间、旋转速度、加速度和减速度、分配臂位置和旋转运动,允许优化工艺流程,从而产生可重复和稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS MicroTec复杂的分配技术,有效地支持开发和清洁

复杂的分配技术

SUSS半自动湿法处理设备AD12为不同的工艺需求提供了广泛的分配技术。可以运行多种过程:从简单的胶泥或喷雾显影到剥离,除了用于浸泡和最终冲洗的胶泥分配器外,还需要用于剥离抗蚀剂和金属的高压分配器。上述所有分配技术都可以在SUSS半自动湿法处理设备AD12的分配臂上配置。

水介质系统

SUSS半自动湿法处理设备AD12是为处理水介质的特殊需要而定制的。与工艺化学品接触的所有零件均由不易受影响的材料制成。排水管可以连接到房屋排水管或废物罐。

介质安全存储在配有排气连接的介质存储器中,并由泄漏检测器固定。流量控制系统和压力调节器管理介质。可选地,可以控制介质温度以确保最佳工艺结果。可以安装介质再循环系统,以减少总体介质消耗。

操作简单安全

SUSS半自动湿法处理设备AD12易于操作和维护。只需按下一个按钮,即可调用工艺参数和介质数据。可编程配方加快了工作流程,促进了重复性。所有零件均易于接近,便于操作和维护工具。此外,该工具的设计主要侧重于操作安全。带有自动安全玻璃门的密封工艺室确保了封闭的工艺环境,并便于对工艺进行监控。联锁传感器保证工具的安全操作。

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