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SCREEN二手清洗设备WS-820L

发布日期:2022-07-01

SCREEN二手清洗设备WS-820L,针对8英寸晶圆的高通量批量清洗系统可实现灵活的生产线配

特点:


1.传输类型

选择 WS-820L 用于 200 毫米晶圆并进行无载体转移处理。

2. 灵活的设计

系统可以根据应用自由配置。处理槽配置最多可包含 13 个槽。

3. 高吞吐量

可以安装多个浴槽,最多可以安装六个传送机器人,以确保高吞吐量。

4. 高品质加工

优化的加工槽设计、严格的化学品管理和清洁的干燥装置有助于稳定、高质量的加工。

5. 丰富的周边设备阵容

提供多种外围设备,包括晶圆传送单元和盒式储料器。

6. 水印的预防

可安装低压干燥装置以减少水印并确保干燥清洁

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