25 nm 以下的重合精度。
i 线步进式光刻机 NSR-SF155 适用于广泛的半导体器件的制造。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。
通过高速运转的晶圆工作台，实现了每小时 200 片以上 300 mm 晶圆的高产出。
● 超高产出
采用了最适于步进式光刻机的新平台“天钩构
造”，同时晶圆工作台可高速运转，从而大幅
度降低了振动，并实现了高产出。达到了每小
时 200 片以上 300 mm 晶圆的超高产出。
● 高重合精度
采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了
空调管路，有利于工作室内的散热。实现了
