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尼康Nikon二手i线步进式光刻机 NSR-SF155

发布日期:2022-05-09

i 线步进式光刻机 NSR-SF155 适用于广泛的半导体器件的制造。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。
通过高速运转的晶圆工作台,实现了每小时 200 片以上 300 mm 晶圆的高产出。
尼康光刻机NSR-SF155参数
超高产出
采用了最适于步进式光刻机的新平台“天钩构
造”,同时晶圆工作台可高速运转,从而大幅
度降低了振动,并实现了高产出。达到了每小
时 200 片以上 300 mm 晶圆的超高产出。
高重合精度
采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了
空调管路,有利于工作室内的散热。实现了

25 nm 以下的重合精度。

尼康光刻机NSR-SF155


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