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ASML 步进式扫描DUV光刻机 ArF曝光机 NXT1970Ci/1980Di

发布日期:2022-05-09

主要特点和优势

TWINSCAN NXT:1970Ci步进扫描系统是一种高生产率的双级浸没式光具,专为在成熟节点批量生产 300 毫米晶圆而设计。

通过结合高生产率和出色的图像分辨率,TWINSCAN NXT: 1970Ci光刻机可满足双重和多重图案化要求,为我们的客户提供具有成本效益的解决方案。

01. 生产力

在该系统中,新颖的气体寿命延长减少了机器停机时间,并加强了经过验证的 6 kHz ArF 激光技术,以提供高功率以支持高吞吐量。浸没罩设计改进拓宽了使用无面漆的低接触角抗蚀剂优化缺陷率的窗口。

与 TWINSCAN NXT:1970Ci光刻机维护计划程序一起,综合服务包通过利用系统空闲时间执行所需的日常维护来优化系统可用性。

TWINSCAN NXT:1970Ci光刻机平面双载物台的刚度增加,提供了更高的速度和加速度,从而允许更快的步进和扫描序列。 

加上更快的卡盘更换,新设计在生产力方面向前迈出了一大步。此外,对可维护性的严格关注导致设计在需要时易于访问。步进式扫描光刻机NXT:1970Ci

02. 光学

TWINSCAN NXT:1970Ci光刻机包括一个1.35NA 193nm折反射投影镜头,可实现低至 40nm(C-quad)和 38 nm(偶极子)的生产分辨率,以及支持全 26x33 mm视场大小、4X减少和与现有设计的标线兼容性。

镜头元件配备了用于校正光学像差的操纵器,从而为低 k1 应用实现最大生产力。FlexRay Prepared Illuminator通过扩展传统和离轴照明的范围来实现最大的灵活性,以实现用于低 k1 成像的高级瞳孔整形。

03. 成像性能

NXT:1970Ci光刻机可以实现 ≤ 2.0nm 的单机(专用卡盘)全晶圆覆盖覆盖,以及 ≤ 3.5 nm 的匹配机(参考晶圆)全晶圆覆盖覆盖。 

该系统的平行 ILIAS (PARIS) 传感器允许客户对整个投影狭缝中的光学像差进行平行测量,从而实现更准确的对准、改进的标线加热校正和动态镜头加热校正。

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