尼康Nikon ArF扫描光刻机NSR-S322F装载了在液浸式装置中取得优秀业绩的Streamlign Platform，同时进一步提高了重合精度与生产效率。满足了客户对生产线实现高精度与稳定量产的需求。
主要特点：
●Bird’s Eye Control重合精度的大幅度提高
・ 通过高精度编码器与以往的干涉仪构成的混合系统，实现了最佳工作台性能
・ 除了先进的对焦控制外，精度与稳定性也得到大幅度改善
・ 重合精度提高达到 2 nm 以下
● Stream Alignment同时实现了高产出与高重合精度
· 通过大幅扩大了光束跨距的“直线自动对焦”，一次性映射在晶圆表面，提高了对焦控制精度
· FIA 实现 5 眼观测，确保了生产效率的同时也增加了对准测量点数
· 大幅缩短了操作晶圆的时间
· 实现了产出达每小时 230 片以上的卓越性能
●Modular2 Structure实现了可迅速进行量产
·模块设计使维护更简单
· 除了模块设计外，还能更换更为细小的零件，因此不仅可维护性大幅提高，运转率也得到提高
·具有高度可扩展性的平台设计，可在不同系列的装置中使用
