佳能半导体光刻设备-步进式光刻机FPA-3030EX6，专用于物联网设备的KrF光刻机，最高分辨率达到150nm，可用电脑进行远程操控。
特点与优势：
FPA-3030EX6步进器兼容多种特殊基板&小尺寸基板
FPA-3030EX6 配备与经过验证的 FPA-3030i5+ i-line 步进机相同的晶圆进给系统，支持处理用于制造物联网和功率设备的各种材料、尺寸和厚度的基板。
FPA-3030EX6 在 KrF 准分子激光步进器中提供最高水平的性能
继承了前代型号 FPA-3000EX6 步进机的性能，在同级别的 KrF 准分子激光步进机中实现了最高级别的分辨率（150 nm）、重叠精度（25 nm）和生产率（吞吐量*121 wph）。
200 毫米（8 英寸）晶圆，60 次
FPA-3030EX6 步进器与 FPA-3000EX6 标线和配方兼容
与 FPA-3000EX6 标线和配方的兼容性允许有效使用现有设施和资产。
