佳能i线步进式光刻机FPA-5550iZ2生产效率高，重叠精度高，能够快速完成晶圆的测量和校准，减少了晶圆处理的时间。
特征和优势
FPA-5550iZ2 步进器在 i-line 光刻设备中提供最高的生产率和覆盖精度
佳能在所有同等级别的 i-line 光刻设备中实现了*最高水平的生产力（吞吐量）。FPA-5550iZ2 步进器优化对准、曝光和晶圆转移序列，缩短晶圆批次交换时间并加快测量和校准处理，以减少晶圆处理时间。
FPA-5550iZ2 步进器可以应用镜头形状补偿器（SSC 单元），以在每个曝光场内实现垂直和水平放大率差异和歪斜（对角方向的镜头失真）的场内校正。SSC 单元在投影光学系统中采用了独创的佳能技术，可以改进与底层的匹配并提高叠加精度。
在同等级别的 i-line 步进器中，截至 2016 年 12 月 14 日（佳能检查）。与之前的 FPA-5550iZ 步进机的标准性能（曝光条件：300 mm 晶圆、96 次、1000 J/m2）相比，FPA-5550iZ2 的吞吐量提高了约 20%
FPA-5550iZ2 步进器具有用于逻辑、存储器和图像传感器制造的各种解决方案
提供平衡吞吐量和叠加精度的生产力和叠加改进选项。为早期的 FPA-5550iZ 步进器建立的彩色滤光片和其他对准系统选项可实现各种工艺的稳定操作和灵活性。
