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二手Nikon arf光刻机S635E

发布日期:2022-06-08

NSR-S635EArF浸入式光刻机,集成内联对准站(iAS),用于大容量5nm节点应用程序制造。采用流型平台效率,NSR-S635E在2.1nmMMO下提供了更好的覆盖精度,同时提供了超过275WPH(96次)的显著吞吐量。

NSR-S635EArF浸入式光刻机对准站对所有晶圆进行高速、超精确的测量,然后在不降低光刻系统吞吐量的情况下纠正有问题的网格误差。iAS能够对晶圆片上的所有镜头进行全面、多点对齐,实现显著的叠加改进,以及最大限度的扫描仪吞吐量。

NSR-S635EArF浸入式光刻机
NSR-S635EArF浸入式光刻机 参数表 NSR-S635EArF浸入式光刻机说明

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