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二手尼康Nikon ARF浸入式光刻机NSR-S620D

发布日期:2022-06-09

尼康基于开创性的Streamlign 平台开发了 NSR-S620D,不仅可以实现 32 nm 的双图案光刻,还可以为下一代应用提供可扩展性。随后是进化型 NSR-S621D、S622D、S630D 和 S631E 浸入式扫描仪,适用于低至 7 nm 节点及以上节点的应用。

Nikon ArF光刻机NSR-S620D

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