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尼康Nikon 干式ARF光刻机NSR-S320F

发布日期:2022-06-09

NSR-S320F 的平台在尼康的浸入式扫描仪中得到验证,确保在客户领域及早实现稳定运行和高生产率。

NSR-S320F 是一款能够满足这种尖端设备需求的扫描仪。通过采用在我们的浸入式扫描仪中得到验证的 Streamlign 平台,可确保尽早实现稳定操作和高生产率。与尼康之前的光刻机相比,吞吐量增加了大约两倍,并且显着降低了 CoO(拥有成本)。所达到的覆盖精度水平可与 ArF 浸入式扫描仪相媲美,并且它还具有未来进一步扩展的潜力。

主要参数

NSR-S320F参数

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