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二手尼康Nikon浸入式扫描光刻机NSR-S609B

发布日期:2022-06-09

NSR-S609B(分辨率 ≦ 55 nm),用于大批量生产的 ArF 浸入式扫描仪,NA 1.07(世界上第一台突破 NA 1.0 阈值的扫描仪)

2006 年,Nikon NSR-S609B浸入式扫描仪标志着尼康浸入式项目的一个重要里程碑。在过去的 15 年中,尼康一直保持着积极的路线图,提供创新的扫描仪解决方案,以满足对浸入式和多重图案化应用日益严格的要求。

尼康Niko 浸入式扫描光刻机NSR-S609B

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