NSR-S609B（分辨率 ≦ 55 nm），用于大批量生产的 ArF 浸入式扫描仪，NA 1.07（世界上第一台突破 NA 1.0 阈值的扫描仪）
2006 年，Nikon NSR-S609B浸入式扫描仪标志着尼康浸入式项目的一个重要里程碑。在过去的 15 年中，尼康一直保持着积极的路线图，提供创新的扫描仪解决方案，以满足对浸入式和多重图案化应用日益严格的要求。
NSR-S609B（分辨率 ≦ 55 nm），用于大批量生产的 ArF 浸入式扫描仪，NA 1.07（世界上第一台突破 NA 1.0 阈值的扫描仪）
2006 年，Nikon NSR-S609B浸入式扫描仪标志着尼康浸入式项目的一个重要里程碑。在过去的 15 年中，尼康一直保持着积极的路线图，提供创新的扫描仪解决方案，以满足对浸入式和多重图案化应用日益严格的要求。
