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ASML二手翻新现货浸入式光刻机NXT:1950i

发布日期:2022-06-10

ASML 通过将 NXT:1950i 上的系统吞吐量提高 15%–20% 来解决光刻成本问题。性能增强包 PEP NXT:1950i 包括硬件和软件改进,将 NXT:1950i 的产量从每小时 175 片 125 片的晶圆增加到 200 片,甚至每小时 96 片的 230 片晶圆。

ASML二手翻新现货浸入式光刻机NXT:1950i

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