13730999691
产品中心

Products Center

SUSS二手现货MA300掩模对准器

发布日期:2022-06-13

SUSS MA300 Gen2 掩模对准器用于300毫米和200毫米晶圆的高度自动化光刻对准平台。

SUSS的第二代MA300是一个用于300毫米和200毫米晶圆的高度自动化的掩模对准光刻平台,专为三维封装、晶圆凸点和晶圆级封装应用而设计,同时也可以用于图形尺寸5微米到100微米之间的其它技术。MA300开启了SUSS掩模对准光刻机的新纪元,可以满足现代高端工厂量产环境的需求。

此外,MA300的标准顶部对准精度优于0.5微米(直接对准),新的三维专用对准平台可以实现背面和红外对准,可满足300毫米三维封装光刻应用 的需求,例如用于穿透硅通道(TSV)、划片槽、背面再布线层(RDL)和凸点应用的刻蚀掩模光刻。背面对准功能使SUSS的300毫米掩模对准光刻机可 以处理具有双面结构的晶圆,红外对准功能可以处理对可见光不透明而红外可透过的基片,例如粘合剂材料,特别是用于薄形基片处理和包封的应用。

与步进投影光刻不同,掩模对准光刻机在曝光非常厚的材料时,效率很高。掩模对准光刻机因其投影系统没有焦深的限制,所以可以提供大的工艺窗口。

SUSS二手掩模对准器MA300


其它产品
公司地址
青岛国际博士后创新创业园6号楼7F
联系方式
售前热线:13730999691(微信同号)
免费热线:13730999691
咨询微信
产品中心服务项目 客户案例新闻资讯关于佳鼎联系我们