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佳能KrF光刻机FPA-6300ESW二手翻新现货

发布日期:2022-06-13

佳能KrF光刻机FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,专为12英寸晶圆设计。

佳能KrF光刻机FPA-6300ESW

FPA-6300ESW 扫描仪配备了广角镜头

通过改变投影镜头的放大倍率(4:1 → 3.125:1),FPA-6300ESW扫描仪实现了更宽的曝光范围,而标线片尺寸保持在6英寸。

FPA-6300ESW是世界上唯一一款无需拼接即可曝光全尺寸CMOS图像传感器的 KrF 扫描仪,因为一次可以曝光33mmx42.2 mm。

*拼接曝光:通过连接两个或多个相邻曝光区域来增加曝光场大小的方法。相邻曝光区域的定位精度和对准直接影响良率。

FPA-6300ESW扫描仪源自久经考验的 FPA-6300ES6a平台

FPA-6300ESW扫描仪采用为支持前端 (FEOL) 半导体制造工艺而开发的技术,能够提供与FPA-6300ES6a扫描仪相似的利用率和可靠性。

FPA-6300ESW扫描仪还具有可扩展平台,允许现场升级以提高生产力和叠加精度。

参数规格

Resolution
≦ 130 nm
NA (Numerical Aperture)
0.45~0.70 (Variable)
Reduction Ratio
1:3.125
Field Size
33 mm x 42.2 mm
Exposure Wavelength
KrF 248 nm
Reticle Size
6 inch
Wafer Size
300 mm (12 inch)
Overlay Accuracy
≦9nm
Main Body Dimensions
(W) 2,300 x (D) 5,155 x (H) 2,900 mm
Major Options
AFIS Illumination System
SMIF OHT Kit
PC Remote Console
GEM-compliant online software
Pellicle Particle Checker
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