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佳能i-line步进式光刻机FPA-3030i5+

发布日期:2022-06-13

FPA-3030i5+步进器旨在满足并超越物联网和MEMS制造商的要求。

FPA-3030i5+步进器为IoT和MEMS制造商处理各种基板和材料提供了灵活性。FPA-3030i5+步进器能够提供350nm的成像分辨率,同时保持小于或等于40nm的叠加精度和等于或超过每小时104个晶圆的吞吐量。

佳能二手i-line步进式光刻机FPA-3030i5+

*IoT:“物联网”或IOT是由传感器、执行器、数据网络和数据处理硬件和软件组成的复杂系统,无需人工交互即可收集、传输、评估和处理数据。

**MEMS:“微机电系统”或MEMS是具有集成传感器、执行器和电子电路的微米级机械结构的设备。

FPA-3030i5+步进器配备高分辨率i线投影镜头

FPA-3030i5+i-line步进器配备1:5缩小放大率投影镜头,可在22mmx22mm视场内提供NA0.63成像。350nm或更小的FPA-3030i5+分辨率将满足或超过大多数(如果不是全部)物联网和MEMS应用的量产成像要求。

FPA-3030i5+步进器享有佳能长期畅销的FPA-3000平台步进器的高可靠性

自1994年推出FPA-3000i4以来,FPA-3000平台步进器一直受到客户的欢迎,并且在可靠性方面有着良好的记录。FPA-3030i5+步进器以FPA-3000的成功为基础,同时提供改进,包括6轴非接触式晶圆载物台和改进的聚焦系统,以提高产量。

与FPA-3000i5标线和配方的兼容性允许有效使用现有设施和资产。

FPA-3030i5+晶圆进料器和分划板更换器系统与各种基板类型兼容

FPA-3030i5+晶圆进料器能够支持从100毫米(4英寸)到200毫米(8英寸)的各种晶圆尺寸。还提供可选的多晶圆套件,允许步进器在2种晶圆尺寸之间快速切换。

FPA-3030i5+分划板更换器可配置为5英寸或6英寸分划板处理,允许重复使用现有分划板。

参数规格

Resolution
≦ 350 nm
NA (Numerical Aperture)
0.63~0.45 (Variable)
Reduction Ratio
1:5
Field Size
22 mm x 22 mm
Exposure Wavelength
i-line 365 nm
Reticle Size
5 inch / 6 inch (Selection)
Wafer Size
100 mm (4 inch), 125 mm (5 inch), 150 mm (6 inch), 200 mm (8 inch) (Selection)
Overlay Accuracy
≦ 40 nm
Main Body Dimensions
(W) 1,900 x (D) 2,600 x (H) 2,450 mm
Major Options
Through-Silicon Alignment Scope (TSA-Scope)
Wafer Handling Kit for Special Substrates
PC Remote Console
GEM-compliant online software
Pellicle Particle Checker
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