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ASML二手翻新现货KrF光刻机AT:750

发布日期:2022-06-14

ASML二手翻新现货KrF光刻机AT:750是248nm深紫外系统。TWINSCAN平台允许使用轨道处理设备和300毫米自动材料处理系统进行左手或右手配置,以实现最佳的晶圆厂布局。KrF光刻机AT:750保证130nm分辨率和20nm覆盖精度,并具有可在0.50到0.70之间任意调节的数值孔径,以实现最佳工艺宽容度。

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