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ASML二手翻新现货ArF光刻机AT:1200

发布日期:2022-06-14

ASML ArF光刻机AT:1200作为其综合成像设施的一部分,SUNY Poly 拥有一台 TWINSCAN AT:1200 193 nm“干式”扫描仪;(0.85 NA)。该工具与 SUNY Poly 的所有工具集一样,可用于对 300mm 晶圆进行成像,具有出色的晶圆均匀性,同时每小时可交付约 100 多个晶圆。尽管该工具是为满足 90nm 节点的需求而制造的,但 SUNY Poly 团队经常展示使用该工具打印低于 90nm 特征的能力。 

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