PAS 5500/1150C 193nm步进扫描系统能够实现成本效益的90nm ArF批量生产。PAS 5500/1150C是90nm临界和非临界ArF层的解决方案。PAS 5500/1150C可以配置许多选项,使制造中实现低成本,将PAS5500/1150C的应用扩展到90nm以下。
PAS 5500/1150C 193nm步进扫描系统能够实现成本效益的90nm ArF批量生产。PAS 5500/1150C是90nm临界和非临界ArF层的解决方案。PAS 5500/1150C可以配置许多选项,使制造中实现低成本,将PAS5500/1150C的应用扩展到90nm以下。