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ASML二手ARF光刻机PAS5500/1150C

发布日期:2022-06-15

PAS 5500/1150C 193nm步进扫描系统能够实现成本效益的90nm ArF批量生产。PAS 5500/1150C是90nm临界和非临界ArF层的解决方案。PAS 5500/1150C可以配置许多选项,使制造中实现低成本,将PAS5500/1150C的应用扩展到90nm以下。

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