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ASML二手DUV光刻机PAS5500/300C现货

发布日期:2022-06-15

ASML PAS 5500/300C每小时能够处理 88 个(200 毫米)晶圆。

光刻机包含一个 AERIAL 照明器,可扩展超过 0.25 µm,而不会影响出色的成像,性能和高生产率。步进器具有可变 NA (0.40-0.57) 和分辨率 < 250 nm。

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