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ASML二手光刻机现货PAS 5500/275D

发布日期:2022-06-15

ASML PAS 5500/275D 是一款高吞吐量 i-line 步进机。它利用 5X 缩小和投影能力,通过步进和重复使用 365 nm 波长的光将光掩模图案转移到用户基板上,并具有 280 nm 分辨率。全自动晶圆处理系统可以容纳从 200 毫米直径晶圆到小块的基板。

  • 标线尺寸:152.40 毫米 x 152.40 毫米。
  • 支持的标线厚度:
    • 3.05 毫米(0.12 英寸)。
    • 3.81 毫米(0.15 英寸)。
    • 6.35 毫米(0.25 英寸)。
  • 最大视野尺寸:22 mm x 22 mm 或 27.4 mm x 14.7 mm。
  • 分辨率:= 280 纳米。
  • 叠加精度:= 40 nm。
  • 数值孔径:0.48 至 0.60。
  • 3D 背面对齐。
  • 透明基板加工。
  • 计算机编程的图像分布和芯片尺寸优化。
  • 全自动材料处理和步进和重复曝光。
  • 吞吐量:= 每小时 84 个晶圆。

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