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ASML二手i-line光刻机PAS 5500/60现货供应

发布日期:2022-06-15

ASML i-line光刻机PAS 5500/60是具有自动100mm晶圆盒处理能力的i-line系统。使用365nm近紫外光,此步进器能够实现450nm的最小特征尺寸和90nm光刻层之间的对齐。步进器使用5倍缩小成像,每次曝光的最大芯片面积为18毫米x22.4 毫米。

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