ASML二手现货DUV光刻机PAS 5500/750E

发布日期：2022-06-16

ASML DUV光刻机 PAS 5500/750E 扫描仪是 ASML 针对 200 毫米晶圆分辨率要求低于 0.15 微米的解决方案。它有深紫外镜头。ASML PAS 5500/750E 扫描仪的应用包括 DUV 光刻。该扫描仪得到了增强，具有小于 30nm 的覆盖能力和 45nm 的匹配机器覆盖能力。

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