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ASML二手i-line光刻机PAS5500/80现货供应

发布日期:2022-06-24

ASML二手i-line光刻机PAS5500/80,具有500nm分辨率和<70nm对准精度。为 4 英寸晶圆设置,但可转换为 3 英寸或 6 英寸平台,21mmx21mm视场大小,1.3µm 焦深。

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