ASML Twinscan AT 1250B 是步进和扫描仪系统。Twinscan AT 1250B 可以生产 8”- 12” 的晶圆尺寸。
配置信息
ASML Twinscan XT1250B ARF扫描仪，193nm曝光波长
配备GIGAPHOTON GT42A4激光系统（20W）
< 70nm分辨率
减速比：1:4
曝光场（最大x，y）：26mm x 33mm
数值孔径：0.60至0.85
2点全局对齐：<0.008um
ASML Twinscan AT 1250B 是步进和扫描仪系统。Twinscan AT 1250B 可以生产 8”- 12” 的晶圆尺寸。
ASML Twinscan XT1250B ARF扫描仪，193nm曝光波长
配备GIGAPHOTON GT42A4激光系统（20W）
< 70nm分辨率
减速比：1:4
曝光场（最大x，y）：26mm x 33mm
数值孔径：0.60至0.85
2点全局对齐：<0.008um
