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ASML二手翻新现货ArF光刻机XT:1250B

发布日期:2022-06-27

ASML Twinscan AT 1250B 是步进和扫描仪系统。Twinscan AT 1250B 可以生产 8”- 12” 的晶圆尺寸。

配置信息

 ASML Twinscan XT1250B ARF扫描仪,193nm曝光波长

 配备GIGAPHOTON GT42A4激光系统(20W)

 < 70nm分辨率

 减速比:1:4

 曝光场(最大x,y):26mm x 33mm

 数值孔径:0.60至0.85

 2点全局对齐:<0.008um

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