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ASML二手翻新现货ArF光刻机XT:1250i

发布日期:2022-06-27

XT:1250i是ASML发布的TWINSCAN XT:1250的浸入式版本。两个系统均在65 nm节点上运行,分辨率为70 nm。XT:1250适用于高级生产,而XT:1250i允许客户测试和鉴定沉浸工艺。XT:1250和XT:1250i配备了Ultra-k1,这是一种硬件和软件组合,使芯片制造商能够缩减电路功能,确保高芯片产量,并最大限度地提高底线回报。

WINSCAN XT:1250i使用193nm波长的光,具有数值孔径为0.85的透镜系统。它被描述为预生产光刻扫描仪,标志着在1150i的Twinscan上的一个进步,这是ASML最初的浸入式原型,其数值孔径相对较低,为0.75。

ASML二手翻新现货ArF光刻机XT:1250i

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