XT:1250i是ASML发布的TWINSCAN XT:1250的浸入式版本。两个系统均在65 nm节点上运行，分辨率为70 nm。XT:1250适用于高级生产，而XT:1250i允许客户测试和鉴定沉浸工艺。XT:1250和XT:1250i配备了Ultra-k1，这是一种硬件和软件组合，使芯片制造商能够缩减电路功能，确保高芯片产量，并最大限度地提高底线回报。
WINSCAN XT:1250i使用193nm波长的光，具有数值孔径为0.85的透镜系统。它被描述为预生产光刻扫描仪，标志着在1150i的Twinscan上的一个进步，这是ASML最初的浸入式原型，其数值孔径相对较低，为0.75。
