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ASML 二手ArF浸没式光刻机XT:1900Gi

发布日期:2022-06-27

TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan 系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具,专为 45 纳米及以下分辨率的 300 毫米晶圆批量生产而设计。

XT:1900Gi采用蔡司星石1900i浸没镜头。这是现有的大型ArF镜头,在1.35NA时,它推动了水基ArF浸入式平版印刷达到极限。结合ASML的Ultra-k1产品组合,它提供了行业最低的可用k1值,它可以实现40nm及以下的半间距分辨率。

XT:1900Gi采用新的测量和曝光周期,它为浸入式光刻设定了一个新的基准,每小时生产131个晶片。

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