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ASML二手i-line光刻机XT:400G

发布日期:2022-06-27

TWINSCAN XT:400G 365 nm步进扫描系统是一种超高生产率的双级光刻工具,专为350 nm分辨率的300 mm晶圆批量生产而设计。TWINSCAN平台的双晶圆级技术使一个晶圆的曝光和下一个晶圆的对准和映射能够并行进行,从而实际上消除了开销时间,并允许晶圆的连续图案化。

此外,高强度5.5千瓦汞灯和快速工作台通过最大限度地减少每个场的曝光扫描时间和场之间的步进时间,确保了最大的生产率。液位传感器与TWINSCAN调平方法相结合,实际上消除了内模和边缘模之间的差异,并确保整个300 mm晶圆的高成品率。高通量和产量与快速的十字线交换时间和批量流相结合,以提供最低的运营成本。

ASML二手i-line光刻机XT:400G

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