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CentroTherm 卧式热反应系统HORICOO200

发布日期:2022-05-17
centrotherm 卧式热反应系统HORICOO 200 是大量现场验证及具有多功能的卧式炉系统,基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台。为AP、LP和PECVD等多种工艺应用提供了可靠的工艺能力和很高的工艺性能。此外,同一系统不同工艺炉管可以匹配相关设施(大气、真空或混合)配置不同的工艺。

所有的炉管均配备一个综合的晶舟处理系统,其可以存放多达8个工艺晶舟,同时也集成有一个晶圆传输系统。水冷式加热器外壳和软着陆系统设计能最大限度排除外部环境影响。且易于维护,能确保低维护成本及高的正常运行时间。

产品适用于退火、扩散、氧化、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等工艺。

产品优点

大气压加工、等离子增强化学气相沉积加工与低压化学气相沉积加工
能提供多种加工腔方案
先进的水冷却系统保证不同的工艺炉管之间无热干扰

模块化部件设计,便于在洁净室内安装与启动生产

CentroTherm 卧式热反应系统HORICOO200

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