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ULVAC爱发科二手叶片式溅射设备CERAUS ZX-1000

发布日期:2022-07-01

ULVAC爱发科二手叶片式溅射设备CERAUS ZX-1000与2011年投入使用,针对于8英寸晶圆使用。

参数规格:

■8英寸规格,7角形芯Ch

■大气侧搬送系2阶段规格

■溅射室(Ti)×2室、ICP、

本机尺寸:2400W×2200D×1900H

电源机柜尺寸:1700W×1300D×2000H

加热室

■DC溅射规格

■阴极:永久磁铁旋转型

■目标尺寸:φ 300mm

■基板载物台:带静电卡盘

加热板

■工艺气体:Ar、N2

■排气系统:涡轮分子泵+低温存水弯、干泵

■控制系:PC控制μ Port

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