ULVAC爱发科二手叶片式溅射设备CERAUS ZX-1000与2011年投入使用，针对于8英寸晶圆使用。
参数规格：
■8英寸规格，7角形芯Ch
■大气侧搬送系2阶段规格
■溅射室（Ti）×2室、ICP、
■本机尺寸：2400W×2200D×1900H
■电源机柜尺寸：1700W×1300D×2000H
加热室
■DC溅射规格
■阴极：永久磁铁旋转型
■目标尺寸：φ 300ｍｍ
■基板载物台：带静电卡盘
加热板
■工艺气体：Ar、N2
■排气系统：涡轮分子泵＋低温存水弯、干泵
■控制系：PC控制μ Port
